安全可靠的真空镀膜设备

真空镀膜是一种产生薄膜材料的技术。在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。
　　然而，真空镀膜的先决条件是要确保真空腔室具有良好稳定的真空度。目前，真空镀膜设备密封形式多采用单根橡胶圈密封，这种密封形式适用于较小密封面的密封，对于较大密封面采用该种密封方式容易出现密封效果不佳的问题。
　　提供一种安全可靠的真空镀膜设备，本系统由真空镀膜系统和手套箱系统集成而成，可在高真空蒸镀腔室中完成薄膜蒸镀，并在手套箱高纯惰性气体氛围下进行样品的存放、制备以及蒸镀后样品的检测。
　　蒸发镀膜与手套箱组合，实现蒸镀、封装、等工艺全封闭制作，使整个薄膜生长和器件制备过程高度集成在一个完整的可控环境氛围的系统中，消除有机大面积电路制备过程中大气环境中不稳定因素影响，保障了高性能、大面积有机光电器件和电路的制备。
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