多功能镀膜设备及镀膜方法

目前，真空磁控溅射镀膜机、真空蒸发镀膜机、真空多弧离子镀膜机等，真空磁控溅射镀膜机可在低温状态下进行非金属材料进行镀膜，真空蒸发镀膜机和真空多弧离子镀膜机属于高温镀膜，适用于金属材料镀膜。

　　每种镀膜机都有各自特点和使用范围限制，如需镀制多种不同膜层以及进行金属和非金属材料的镀膜，需要购置上述多种真空镀膜机，存在设备投资大的缺点。

　　为了解决问题，提供一种多功能磁控溅射镀膜系统。本系统由真空镀膜系统和真空手套箱系统集成而成，可在高真空蒸镀腔室中完成薄膜蒸镀，并在手套箱高纯惰性气体氛围下进行样品的存放、制备以及蒸镀后样品的检测。 多功能磁控溅射镀膜系统主要用途：用于制备各种金属膜、半导体膜、介质膜、磁控膜、光学膜、超导膜、传感膜以及各种特殊需求的功能薄膜。

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