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真空镀膜机开机和关机注意事项有哪些?简单地讲,真空镀膜机不管在开机还是在关机时都说有一定的技巧和安全隐患的;接下来的时间里,下面就由真空镀膜电源的小编来给大家详细介绍下有关真空镀膜机开机和关机注意事项吧。
(1)熟练掌握真空镀膜机安全操作规程
(2)开机前先检查水、电、气是否正常。(冷却水压力一般可在0.2MPa以上,气在0.4Mpa以上,电压在370-390V)。
(3)开机步骤:气动机械泵,约30s后开前级阀,开复合真空计,待前级抽至10Pa以下且稳定时再开启扩散泵(必须到后面查看以下电炉丝是否发红)。
(4)关机步骤:关电离计,关闭高阀,切断加热器电源,用前级泵抽前级自然降至室温,关前级管道阀,停止机械泵,停冷却水、停电、停气。
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