脉冲偏压电源的作用讲解

偏压电源是真空电弧离子镀及其它真空物理气相沉积设备中一个重要组件，在镀膜工艺流程中为工件提供负（或正）偏压。

脉冲偏压电源：

　　1）提高真空等离子体内带电粒子的能量，轰击清洗所镀工件表面，使工件表面经受高能粒子撞击后得到崭新的表层，从而提高后续沉积膜层的结合力

　　2）提高并控制真空等离子体内带电粒子的能量，提高膜层与工件基体结合力

　　3）靠不同的电压输出极性或方式改变沉积规则，调整膜层颜色

　　4）克服偏压电源工作于真空等离子体环境中，由高电压引起的阴极弧光放电烧伤工件

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