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MSB系列双极脉冲磁控溅射电源(中频电源)

返回列表 来源: 发布日期:2020-11-06

  主要用途:
  双极脉冲磁控溅射电源用于中频孪生靶磁控溅金属或非金属材料,特别适合于反应磁控溅射。能增加离化率,减少电荷积累引起的异常放电,预防靶表面中毒现象。
  主要特点:
  采用先进的电流型开关电源技术,减小输出储能元件,同时提高了抑制打火及重启速度,应用在铝靶镀膜优势更为明显。
  具备恒流/恒功率模式可选。恒功率模式相对于传统的恒流模式,更能保证镀膜工艺的重复性。
  具有理想的电压陡降特性,自动识别伪打火现象,充分满足磁控溅射工艺过程的连续性。
  主要参数可大范围调节
  可选择手动控制/模拟量接口控制,可选配RS485通讯接口。
  标签:中频磁控溅射电源

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本文标签: 中频磁控溅射电源

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