MSB系列双极脉冲磁控溅射电源（中频电源）

　　主要用途：
　　双极脉冲磁控溅射电源用于中频孪生靶磁控溅金属或非金属材料，特别适合于反应磁控溅射。能增加离化率，减少电荷积累引起的异常放电，预防靶表面中毒现象。
　　主要特点：
　　采用先进的电流型开关电源技术，减小输出储能元件，同时提高了抑制打火及重启速度，应用在铝靶镀膜优势更为明显。
　　具备恒流/恒功率模式可选。恒功率模式相对于传统的恒流模式，更能保证镀膜工艺的重复性。
　　具有理想的电压陡降特性，自动识别伪打火现象，充分满足磁控溅射工艺过程的连续性。
　　主要参数可大范围调节
　　可选择手动控制/模拟量接口控制，可选配RS485通讯接口。
　　标签：中频磁控溅射电源