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偏压电源是真空电弧离子镀及其它真空物理气相沉积设备中一个重要组件,在镀膜工艺流程中为工件提供负(或正)偏压。它在真空离子镀膜中,尤其对于多弧离子镀膜,无论是装饰镀还是工具镀,轰偏电源的好坏对于成膜质量都起着非常关键的作用。可以有效的提高真空等离子体内带电粒子的能量,轰击清洗所镀工件表面,使工件表面经受高能粒子撞击后得到崭新的表层,从而提高后续沉积膜层的结合力,可以提高并控制真空等离子体内带电粒子的能量,提高膜层与工件基体结合力,而且它可以靠不同的电压输出极性或方式改变沉积规则,调整膜层颜色,做到克服偏压电源工作于真空等离子体环境中,由高电压引起的阴极弧光放电烧伤工件的作用。
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