真空镀膜设备的密封形式有多少种

真空镀膜设备为了与大气隔绝，对于真空室的各个部件的连接处、转动轴、盖、大门、观察窗、电源、信号引入端等所有地方，都应设计有可靠的真空密封措施。

　　真空密封通常有可拆密封和不可拆密封（又称永久性密封，包括一些封接、焊接等操作）的区别。而可拆密封就相对比较复杂一点，包括了静密封与动密封两大类形式。

　　一、静密封

　　真空镀膜室的静密封是指连接件无法做相对运动的一种密封手段。如果只是在低真空和高真空的环境，那可拆静密封的密封材料通常采用具有很大弹性的橡胶。如果是超高真空的环境要求，那么可拆静密封将有所限制（如高温烘烤温度、材料出气率等），所以一般用软金属做镀膜真空室的密封材料。

　　常见的可拆静密封材料有橡胶密封、金属密封、氟塑料密封等，此外还包括一些真空法兰、真空规管接头等零部件。

　　二、动密封

　　镀膜工艺可能需要将外部的物料传递到真空室中。对此，真空容器物料传递的运动形式一般可通过传动轴的转动、摆动以及往复直线运动等设计来实现。

　　最常见的动密封型式是传递平动和转动的O形圈和填料密封，对于密封要求高的设备最好选用两个O形圈来实现，因为这种密封方式可确保装置轴中心准直程度。

　　1、传递轴转动

　　这一类的动密封形式应用最广的是威尔逊密封，其垫圈孔径一般设计为轴直径的0.65倍-0.8倍，再用金属衬垫固定住垫片边缘，橡胶垫孔扭曲变形使内缘贴紧轴，达到密封效果。该类型密封可用传动轴直径为1.5mm-70mm，但需要注意轴径一旦超过20mm，在设计其结构时要知道压力差的存在，不会把轴压到真空室里面。传递轴转动密封常用双垫圈，再于双垫圈间做抽空或注入真空润滑油脂等措施，以达到真空室密封性能的改善效果。

　　2、传动轴摆动

　　这一类动密封形式主要靠膜片的变形或金属波纹管来实现传递轴的转动或平移、摆动。该类型密封形式有密封可靠、耐高温烘烤（因为材料多是耐高温的 膜片或金属波纹管）等优势，但是又有价格高、寿命短、位移量小等缺陷。现在主要在超高真空设备中使用。

　　3、往复直线运动

　　这一类动密封装置中的O形圈，不管是以外径还是内径作滑动密封，装置压缩率通常都取10%~12%之间。因为是在拉伸后安装O形圈，所以断面直径缩小，导致实际压缩量也对应缩小，实际压缩率在拉伸后一般不会低于8%。

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