真空镀膜设备的制作方法

真空镀膜有三种形式，即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀:蒸发镀膜，通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面；溅射镀膜用高能粒子轰击固体表面时能使固体表面的粒子获得能量并逸出表面，沉积在基片上；离子镀蒸发物质的分子被电子碰撞电离后以离子沉积在固体表面。这三种形式的真空镀膜技术都需要一种快速冷却装置来辅助真空镀膜工程。
　　真空设备由于在镀膜过程中工件处于密闭的真空环境中，但产品工艺及性能却丧失了很多，现有的真空镀膜设备，也有冷却装置，但其冷却效果不是很理想。不能满足人们的需要，为弥补现有技术不足，提供真空镀膜设备手套箱蒸镀一体机，本系统由真空镀膜系统和手套箱系统集成而成，可在高真空蒸镀腔室中完成薄膜蒸镀，并在手套箱高纯惰性气体氛围下进行样品的存放、制备以及蒸镀后样品的检测。能保证镀膜产品工艺及性能质量的要求而设置的快速冷却系统，实现自动控制快速冷却的目的。
　　蒸发镀膜与手套箱组合，实现蒸镀、封装、等工艺全封闭制作，使整个薄膜生长和器件制备过程高度集成在一个完整的可控环境氛围的系统中，消除有机大面积电路制备过程中大气环境中不稳定因素影响，保障了高性能、大面积有机光电器件和电路的制备。
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