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  • 脉冲偏压电源
脉冲偏压电源

分类:脉冲偏压电源

描述:

简介 / Introduction

主要特点:
采用先进的逆变技术和模块IGBT功率开关器件设计,采用PWM脉宽调制技术、稳定性好,单极脉冲输出具有脉冲幅值稳压功能,能明显减少工件打火,保护工件,可通过调节占空比改善和控制成膜速度和温度,增加膜基结合力和沉积速率。

主要技术参数:
1、工作电压分两档和三档,每一档电压连续可调,脉冲上升快,下降快,脉冲幅值稳定
2、60KW以下(60KW)分两档:低档 0-400V  高档 0-800V
3、60KW以上(含60KW)分三档:低档 0-200V  中档 0-400V 高档0-800V
4、脉冲频率:40KHz
5、脉冲占空比:0-90%可调
6、可选远控面板控制或PLC


参数表:
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