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双极脉冲磁控溅射电源(中频电源)

分类:双级脉冲磁控溅射电源(中频电源)

描述:

简介 / Introduction

主要特点:
采用先进的逆变技术和模块IGBT功率开关器件设计,采用PWM脉宽调制技术、稳定性好,双极脉冲磁控溅射电源适用于中频孪生靶磁控溅射金属或非金属材料,特别适合于反应磁控溅射镀制ITO膜、介质膜等。本电源能增加离化率,减少电荷积累引起的异常放电,预防靶表面中毒现象。

主要技术参数
1、空载有效电压≥1000V
2、工作有效电压200-800V
3、稳流精度1%F.S.
4、脉冲频率40KHZ
5、可选远控面板控制或PLC

参数表:

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