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系列直流磁控溅射电源的用途和特点

返回列表 来源: 发布日期:2020-11-05

   MSD系列直流磁控溅射电源
  主要用途:
  直流磁控溅射用于镀制各种金属
  主要特点:
  采用先进的电流型开关电源技术,减小输出储能元件,同时提高了抑制打火及重启速度,应用在铝靶镀膜优势更为明显。
  具备恒流/恒功率模式可选。恒功率模式相对于传统的恒流模式,更能保证镀膜工艺的重复性。
  具有理想的电压陡降特性,自动识别伪打火现象,充分满足磁控溅射工艺过程的连续性。
  主要参数可大范围调节
  可选择手动控制/模拟量接口控制,可选配RS485通讯接口。
  标签:中频磁控溅射电源

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